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生产方法/多晶硅

多晶硅的生产技术主要为改良西门子法和硅i烷法。西门子法通过气相沉积的方式生产柱状多晶硅，为了提高原料利用率和环境友好，多晶硅片厂家，在前者的基础上采用了闭环式生产工艺即改良西门子法。该工艺将工业硅粉与HCl反应，加工成SiHCI3 ，多晶硅片，再让SiHCl3在H2气氛的还原炉中还原沉积得到多晶硅。还原炉排出的尾气H2、SiHCl3、SiCl4、SiH2Cl2 和HCl经过分离后再循环利用。硅i烷法是将硅i烷通入以多晶硅晶种作为流化颗粒的流化床中，使硅i烷裂解并在晶种上沉积，从而得到颗粒状多晶硅。改良西门子法和硅i烷法主要生产电子级晶体硅，也可以生产太阳能级多晶硅。

生产危害/多晶硅

多晶硅生产过程中主要危险、有害物质中氯i气、氢i气、三氯i氢硅、氯化i氢等主要危险特性有：

1）氢i气：与空气混合能形成爆i炸性混合物，遇热或明火即会发生爆i炸。气体比空气轻，在室内使用和储存时，漏气上升滞留屋顶不易排出，遇火星会引起爆i炸。氢气与氟、氯、卤素会剧烈反应。

2）氧气：助燃物、可燃物燃烧爆i炸的基本要素之一，能氧化大多数活性物质。与易燃物(如乙i炔、甲i烷等)形成有爆i炸性的混合物。

3）氯：有刺激性气味，能与许多化学品发生爆i炸或生成爆i炸性物质。几乎对金属和非金属都起腐蚀作用。属高毒类。是一种强烈的刺激性气体。

4）氯i化氢：无水氯i化氢无腐蚀性，但遇水时有强腐蚀性。能与一些活性金属粉末发生反应，放出氢i气。

（四）固体废物

一般工业固体废物的贮存应符合《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》（GB18599），对产生的四氯i化硅等危险废物，多晶硅片优质商家，应严格执行危险废物相关管理规定。

（五）噪声

厂界噪声符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348）。

产品质量

企业应有质量检验机构和专职检验人员，有健全的质量检验管理制度。半导体级多晶硅产品符合国家标准GB/T12963所规定的质量要求，太阳能级多晶硅产品符合国家标准所规定的质量要求。